晶圆厂为何要用天车搬运晶圆？

晶圆厂为何要用天车搬运晶圆？

晶圆厂的主动化水平有多高？

听说，在台积电的厂区中，有着长达50公里的天车轨道，5000多个轨路途口，2000多台晶圆传输盒子在同时活动，天天必要运送60万车次的晶圆…

为什么要用这种天车来搬运晶圆？人工搬运就不可吗？

众所皆知，晶圆制造是人类迄今为止最繁复的制造业之一。

一片晶圆要在几百台消费装备间流转，数十次重入同典范的加工装备，颠末成百上千道工序，才会诞生数百颗指甲盖轻重的芯片。

而承继晶圆厂空中运输的主要装备，就是这个天车。

约莫各位不晓得，芯片制造所处的情况，要比病院的手术室还要干净10万倍。

任何弱小尘土或沾染物都约莫招致晶圆毁坏，从而影响芯片的产出率和质量。

假如使用手动搬运的办法，不仅风险很高，容易招致晶圆毁坏，并且还会带来尘土大概其他沾染。

而天车在关闭的轨道内运转，可以大大减小晶圆暴露在外界情况中的风险，从而好效制止沾染成绩。

其次就是听从。

晶圆在制造历程中必要颠末数百个不同的工序，这些工序要在多个自用装备之间举行。

而天车经过内里精密的盘算机控制，可以一连无中断的，快速且精准地将晶圆从一个事情站挪动到另一个事情站。

说的再普通点，只需有电，它就能不休实行搬运职责，这是人工再怎样积极，也无法到达的。

由于天车对整个产线的安定运转来说太紧张了，因此晶圆厂寻常都市使用业内成熟度比力高的产物。

现在，在举世晶圆天车市场中，主要被日本村田机器和日本大福所把持，市场占据率达95%以上。

固然不确定日本会不会拿这个卡我们脖子，但依照以往的履历，天车的国产交换是一定要有的。

好的消息是，现在以前有一些国产天车，被使用到实践消费中。

固然了，也不是一切的晶圆厂都市用到天车，好比6寸的晶圆厂就不必要。

由于比拟之下，6寸的晶圆较轻，通常情况入手动搬运大概使用较小的主动化装备，就可以了。

再者，天车体系的价格十分昂贵。

据悉，12寸晶圆厂中一套完备的天车主动化搬运体系，占晶圆厂安稳投资的3%支配。

也就是说，假如投资300亿美元建厂，这套搬运体系就要花掉9个亿。

以是有人就说，这种天车约莫是举世最贵的小车，也是有真理的。